【摘 要】
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为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波（SAW）谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,西南科技大学制造科学与工程学院
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为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波（SAW）谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30～40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1～2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SA
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