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梳齿式结构电容式加速度传感器设计
梳齿式结构电容式加速度传感器设计
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lsp110
【摘 要】
:
选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。
【作 者】
:
周文萌
【机 构】
:
大连理工大学海洋科学与技术学院
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
电容式加速度传感器
梳齿式差分结构
MEMS
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选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。
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