扭摆式微加速度传感器的优化设计

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】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成,分析了其工作机理,给出了其设计原则和加工工艺,最后通过实例验证了该设计方法的适用性。 Torsional micro-accelerometer is a kind of micro-sensor used to measure the acceleration of moving objects. It has a very wide range of applications in many fields and is one of the main directions in the development of micron / nano-technology today. The article discusses its structure and composition, analyzes its working mechanism, gives its design principles and processing technology, and finally verifies the applicability of the design method through examples.
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