【摘 要】
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新一代的晶圆划片机是在日本DISCO划片机的基础上发展出来的,具有精度高,操作简便、可加工晶圆尺寸范围广等优点。在对划片机DD马达的控制过程中,由于种种原因可能会有丢脉冲
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新一代的晶圆划片机是在日本DISCO划片机的基础上发展出来的,具有精度高,操作简便、可加工晶圆尺寸范围广等优点。在对划片机DD马达的控制过程中,由于种种原因可能会有丢脉冲的现象发生,以及在加工过程中需要更换不同规格、不同重量的工作盘,从而导致DD马达的位置控制不精确。因此需要利用PID算法对PID控制的三个参数进行调节,以控制DD马达的位置输出到达相应的位置。PID算法中的三个参数KP、KI、KD,分别对应着比例、积分和微分控制。利用模糊自整定PID算法对DD马达的输入和输出进行控制,对于丢脉冲的现象和不
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