【摘 要】
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通过固相反应工艺制备了Zn0.98Nd0.02O纳米颗粒,射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上制备了Zn0.98Nd0.02O薄膜。应用XRD、AFM以及拉曼光谱等手段,分析了Zn0.98Nd0.02O纳米颗粒与薄
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通过固相反应工艺制备了Zn0.98Nd0.02O纳米颗粒,射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上制备了Zn0.98Nd0.02O薄膜。应用XRD、AFM以及拉曼光谱等手段,分析了Zn0.98Nd0.02O纳米颗粒与薄膜的结构,并测试了Zn0.98Nd0.02O薄膜的室温伏安特性。表明Nd掺杂没有改变ZnO纤锌矿结构,Zn0.98Nd0.02O颗粒为纳米多晶粉末态,其薄膜为沿（100）、（101）方向生长的纳米多晶结构,表面形貌粗糙。拉曼光谱分析表明,Zn0.98Nd0.02O颗粒的局部应力增大,晶格畸变缺
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