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给出了一种静电力作用下微悬臂梁控制方程的数值求解方法,提出了求解该模型的近似解析式和修正解析式,并采用模态叠加法计算微梁的动响应.结果表明,修正解析式、数值算法和动响应方法计算的微梁变形结果是一致的.同时也揭示了微梁振动响应周期与驱动电压成正比、动态临界电压低于静态临界电压等相关特性.
求解静电驱动微梁变形的数值与解析方法
【摘 要】
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给出了一种静电力作用下微悬臂梁控制方程的数值求解方法,提出了求解该模型的近似解析式和修正解析式,并采用模态叠加法计算微梁的动响应.结果表明,修正解析式、数值算法和动
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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机械设计与研究
【发表日期】
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2005年2期
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