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用俄歇能谱研究热氮化SiO2膜中氮原子的扩散
用俄歇能谱研究热氮化SiO2膜中氮原子的扩散
来源 :华南理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:naeauty
【摘 要】
:
应用俄歇电子能谱仪,对快速热氮化法制备的热氮化二氧化硅薄膜及快速热氮化后再氧化退火的二氧化硅薄膜,进行元素深度分布剖析。薄膜厚度约为60nm。分析结果发现:1)氮原子在二氧化硅薄
【作 者】
:
刘小阳
陈蒲生
王川
黄世平
【机 构】
:
华南理工大学测试中心,华南理工大学应用物理系,香港中文大学电子工程系
【出 处】
:
华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1995年12期
【关键词】
:
热氮化
氮原子
二氧化硅
薄膜
俄歇能谱
rapid thermal oxidation post oxidation annealing this film
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应用俄歇电子能谱仪,对快速热氮化法制备的热氮化二氧化硅薄膜及快速热氮化后再氧化退火的二氧化硅薄膜,进行元素深度分布剖析。薄膜厚度约为60nm。分析结果发现:1)氮原子在二氧化硅薄膜中的扩散范围受氧原子浓度的控制;2)热氮化二氧化硅薄膜经氧化退火处理后氮原子浓度降低,分布变得平缓,均匀。
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