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针对双模态USM在微纳米测控领域中的应用特点，设计单一的小波驱动模式代替现有的组合驱动模式．一个小波驱动波由8个39．6kHz的正弦电压驱动波组成，其最高触发频率为5kHz．小波驱动模式实现了双模态USM步距可调的步进控制功能．在定位控制应用中，选用栅距为20μm的光栅作为位置反馈传感器，采用作者研制的互补函数快速细分算法作为光栅纳米位移测量工具．在测量与驱动顺序控制条件下，双模态USM的最大驱动步距为2μm，工作台的最高驱动速度为10mm／s．试验表明，选择适当的小波驱动参数，工作台可以获得纳米量级的驱