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随着半导体集成度的不断提高,半导体检测技术也不断拓展和更新.SQUID是目前所知的最灵敏的磁场和磁通探测器.本文将介绍一种以SQUID为探头的、非接触式的、半导体材料和器件检测装置.
SQUID与半导体样品的无损检测
【摘 要】
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随着半导体集成度的不断提高,半导体检测技术也不断拓展和更新.SQUID是目前所知的最灵敏的磁场和磁通探测器.本文将介绍一种以SQUID为探头的、非接触式的、半导体材料和器件
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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现代测量与实验室管理
【发表日期】
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2004年6期
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