【摘 要】
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文章分析了改良西门子法制备多晶硅工艺所涉及的相关化学反应及转化率,在此基础上通过系统物料关系和物料守恒,建立了改良西门子工艺物料平衡的理论模型,重点讨论了SiHCl3还
【机 构】
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四川永祥新能源有限公司,山东鲁新设计工程有限公司,四川永祥股份有限公司
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文章分析了改良西门子法制备多晶硅工艺所涉及的相关化学反应及转化率,在此基础上通过系统物料关系和物料守恒,建立了改良西门子工艺物料平衡的理论模型,重点讨论了SiHCl3还原多晶硅转化率、精馏SiHCl3和SiCl4的收率对物料平衡的影响。结果和方法可以为改良西门子法制备多晶硅工艺的设计和实际生产提供参考。
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