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将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”的相结合，利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅／氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究，清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子，这一方法为氮化硅／氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段。