【摘 要】
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四氟化碳（CF4）是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF4的制备工艺流程中，精馏提纯技术是CF4气体纯度能否达到电子级的关键所在。目前，本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产，但精馏提纯过程存在能耗较高，效率和收率较低等问题。针对以上问题，本项目设计开发了一款由冷凝器、再沸器和精馏塔三合一构成的不带捕集器的整体式精馏装置，采用多级液相分布精馏技术结合优化工艺操
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四氟化碳（CF4）是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF4的制备工艺流程中，精馏提纯技术是CF4气体纯度能否达到电子级的关键所在。目前，本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产，但精馏提纯过程存在能耗较高，效率和收率较低等问题。针对以上问题，本项目设计开发了一款由冷凝器、再沸器和精馏塔三合一构成的不带捕集器的整体式精馏装置，采用多级液相分布精馏技术结合优化工艺操作参数，取得良好提纯效果，实现了节能、高效。
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