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综述了光刻胶在耐干法刻蚀方面的工作原理以及耐干法刻蚀胶的研究进展
高抗刻蚀选择比光刻胶的研究进展
【摘 要】
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综述了光刻胶在耐干法刻蚀方面的工作原理以及耐干法刻蚀胶的研究进展
【机 构】
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无锡市化工研究设计院有限公司;
【出 处】
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探索科学
【发表日期】
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2016年3期
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