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介绍了等离子体离子辅助沉积技术，用该技术制备了高性能的中红外增透膜，给出了该增透膜的光学性能和耐久性试验结果。
用等离子体离子辅助沉积高性能红外增透膜
【摘 要】
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介绍了等离子体离子辅助沉积技术，用该技术制备了高性能的中红外增透膜，给出了该增透膜的光学性能和耐久性试验结果。
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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1996年6期
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