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采用溶胶-凝胶法在n-Si（100）衬底上制备ZnO薄膜并从三个方面对其研究。X射线衍射结果表明，在含氧气氛中退火的ZnO薄膜为多晶六角纤锌矿结构，有明显的c轴择优结晶取向；退火时间的长短和温度的高低对结晶取向性和粒径均有较大影响，通过进一步的研究发现最佳处理温度在500℃左右。用扫描电子显微镜观察样品的表面和侧面形貌，晶体的生长比较均匀，粒径平均在70—160nm范围内，与XRD测量结果相一致。室温下ZnO胶体的光致发光谱表明，随着胶体老化时间的延长，胶体的紫外峰位发生了蓝移。室温下ZnO薄膜的光致发光