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硅发光对于在单一硅片上实现光电集成是至关重要的。目前已有的使硅产生发光的方法有：掺杂深能级杂质、掺稀土离子、多孔硅、纳米硅以及Si／SiO2超晶格。声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备光致发光多孔硅薄膜提供了一条重要的途径。实验表明，声化学处理对于改善多孔硅的微结构，提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术。超声波加强阳极电化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜，比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质。这种超声波的化学效应源于声空化，即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃。在多孔硅的腐蚀过程中，由于