【摘 要】
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本文介绍了用常角法、比较法检测度盘、光栅盘刻线位置误差及其数据处理方法。在保证测试条件的前提下,两种方法所求得的刻线位置误差及由它得到的直径误差结果趋于一致。另
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本文介绍了用常角法、比较法检测度盘、光栅盘刻线位置误差及其数据处理方法。在保证测试条件的前提下,两种方法所求得的刻线位置误差及由它得到的直径误差结果趋于一致。另外,对检测结果的可靠性等问题进行了一定的分析。
This article describes the use of constant angle method, the comparative method to detect disc, grating disc position error and data processing methods. Under the premise of guaranteeing the test conditions, the error of the position of the reticle and the diameter error obtained by the two methods tend to be consistent. In addition, the reliability of the test results and other issues were analyzed.
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