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Ge-Sb-Te-O相变薄膜的光学性质研究
Ge-Sb-Te-O相变薄膜的光学性质研究
来源 :第十一届全国薄膜学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luocheng890924
【摘 要】
:
研究了单层Ge-Sb-Te-O射频溅射薄膜在400nm~800nm区域的光学常数(N,K)和反射、透射光谱,发现适当的氧掺杂能增加退火前后反射率对比度,可以通过氧掺杂改良Ge-Sb-Te相变材料的
【作 者】
:
顾四朋
侯立松
曾贤成
赵启涛
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)
【出 处】
:
第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
相变薄膜
氧掺杂
反射率对比度
光存储
存储材料
光存储技术
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研究了单层Ge-Sb-Te-O射频溅射薄膜在400nm~800nm区域的光学常数(N,K)和反射、透射光谱,发现适当的氧掺杂能增加退火前后反射率对比度,可以通过氧掺杂改良Ge-Sb-Te相变材料的光存储性能.
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