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有限元法计算膜厚均匀性收
有限元法计算膜厚均匀性收
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mhy8348
【摘 要】
:
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
【作 者】
:
阴晓俊
费书国
章月州
孔志坤
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
膜厚均匀性
发射特性
蒸发源的旋转与倾斜
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利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
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