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我国半导体硅材料事业始于20世纪50年代末,现已经历了四十四个春秋。在这期间,我国建立了多晶硅、直拉单晶硅、区熔单晶硅、硅外延片和非晶硅的生产体系。此外,SiGe材料、SOI、SiC等硅基
中国硅材料工业的前景与挑战
【摘 要】
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我国半导体硅材料事业始于20世纪50年代末,现已经历了四十四个春秋。在这期间,我国建立了多晶硅、直拉单晶硅、区熔单晶硅、硅外延片和非晶硅的生产体系。此外,SiGe材料、SOI
【机 构】
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中科院半导体所,信息产业部电子信息产品管理司,同济大学
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年3期
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