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采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。
标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响
【摘 要】
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采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表
【机 构】
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大连民族大学物理与材料工程学院
【出 处】
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大连民族大学学报
【发表日期】
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2017年3期
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