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对大型金刚石圆锯片的内应力检测是通过测量其变形来实现的，而检测过程中圆锯片的振动会引起测量结果的波动。为了提高检测精度，本文提出了一种基于曲线拟合的圆锯片变形检测算法。首先利用固定滑窗移动的方式对定量的数据进行重构，形成新的数据结构，然后对新的数据结构进行正交多项式曲线拟合以降低噪声。根据此算法建立了圆锯片变形检测装置，并对直径为1700mm的锯片进行了测量。实验结果表明，该算法降低了检测系统及圆锯片本身振动带来的变形误差，检测精度可达0．02mm。