论文部分内容阅读
基于现代控制理论,提出了一种新型的主动型空气支承,不改变供气压力,利用压电陶瓷(PZT)的伸缩量来补偿空气膜厚度随外部干扰的变化对支承精度的影响.在建立理论模型的基础上,介绍了二维自由度控制器的优化设计方法,使系统具有精度高、响应速度快和抗干扰能力强的特点,并对主动空气支承系统的动态特性进行了分析研究,为主动空气支承的应用提供了理论依据.