【摘 要】
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LTCC(低温共烧陶瓷)是近几年兴起的一种三维集成技术,凭借其优异的高频特性、高可靠性和小型化等优势,迅速成为雷达探测和电子对抗等领域微波组件的首选方案。砂轮划片作为LT
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LTCC(低温共烧陶瓷)是近几年兴起的一种三维集成技术,凭借其优异的高频特性、高可靠性和小型化等优势,迅速成为雷达探测和电子对抗等领域微波组件的首选方案。砂轮划片作为LTCC制造工艺的一部分,相比激光切割工艺有着自身的优势。从影响砂轮划片工艺的几个关键因素出发,通过理论分析和实验对比,优化砂轮划片工艺。有效地解决了划切基板背面崩边和切割面裂纹问题,切实提高了砂轮划片的合格率。
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