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由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统（简称为MEMS）组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定．
哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果
【摘 要】
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由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统（简称为MEMS）组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定．
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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2007年6期
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