论文部分内容阅读
采用低温和高温AlN复合缓冲层的方法在蓝宝石衬底上外延生长AlGaN／AlN结构，并进行了应变分析。通过x射线双晶衍射叫．2臼扫描曲线和拟合曲线分析发现，AlN是由两个不同弛豫度的应变缓冲层组成，弛豫度分别为96％和97．2％。AlN缓冲层在低温下不完全弛豫，导致高温下存在一个继续弛豫过程。X射线双晶衍射和透射光谱分析发现，AlGaN层Al组分由于未知的AlGaN弛豫度而无法确定。对AlGaN带隙公式和实验结果进行拟合，推算出弯曲系数为1．05eV，这与已有文献相吻合。