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有机薄膜场效应晶体管的研制

来源 :科学通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oqo235

【摘 要】

：

采用聚四氟乙烯充当绝缘材料,利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管.源极和漏极采用氧化铟锡,半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当,栅极采用银电极.在利用

【作 者】

：

邱勇 胡远川 董桂芳 王立铎 高裕弟 

【机 构】

：

清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系 北京　100084,北京　100084,北京　100084,北京　100084,北京　100084

【出 处】

：

科学通报

【发表日期】

：

2002年08期

【关键词】

：

有机薄膜晶体管 铜酞菁 聚四氟乙烯 

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采用聚四氟乙烯充当绝缘材料,利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管.源极和漏极采用氧化铟锡,半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当,栅极采用银电极.在利用光刻制备沟道长度为50μm的源极和漏极后,依次真空沉积铜酞菁层、聚四氟乙烯层和银层,得到器件的电子迁移率为1.1×10^-6cm²·（V·s）^-1,开关电流比大于500.

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