厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征

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【摘要】

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目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性,拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,在C2H2-SiH4气氛中,通过Six-DLC与Si

【作者】

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李安李霞王云锋张广安万善宏

【机构】

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兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,伍伦贡大学工程与信息科学学院

【出处】

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表面技术

【发表日期】

：

2019年4期

【关键词】

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SUS304不锈钢厚DLC薄膜耐磨损耐腐蚀掺Si

【基金项目】

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国家自然科学基金(11564024)~~

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目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性,拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,在C2H2-SiH4气氛中,通过Six-DLC与Siy-DLC交替沉积的制备方法,以SUS304不锈钢为基底,制备了厚度为20.0、34.9、41.6μm的三种不同调制比(1∶5、1∶1、4∶1)的厚类金刚石碳基薄膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、纳米压痕仪、RST3划痕仪,分析了厚DLC薄膜的微观结构与力学性能。利用CSM摩擦磨损试验机评价厚D

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