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应用直流反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜，利用n＆k仪对薄膜的反射率进行检测，结果表明TiO2薄膜可以作为太阳电池减反射薄膜应用，并且通过改变工艺条件可以调控薄膜的反射低谷。当总压强为2×10^-1Pa、O2流量为15sccm、靶基距为190mm、温度为60℃的条件下制备的Ti02薄膜的减反射效果最好。