【摘 要】
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纳米尺度的结构成形是纳米技术和纳米制造中的核心工艺之一。纳米压印技术以高分辨率、高效率、低成本的独特优势已经成为具有广泛应用前景的纳米成形工艺方法。压印模板是压
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纳米尺度的结构成形是纳米技术和纳米制造中的核心工艺之一。纳米压印技术以高分辨率、高效率、低成本的独特优势已经成为具有广泛应用前景的纳米成形工艺方法。压印模板是压印技术的核心要素,压印模板的特性也决定了压印工艺的技术路线和特点。因此,研究和开发新型的压印模板及其相应的新压印工艺是压印技术研究方向的主要课题。
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