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本文的是在无定形ＳｉＯ２上沉积含氢的非晶硅氧修复特性较差的硅平面管的方法，该方法可使特性较差的管子起死回生。
一种无定形SiO2上沉积含氢的非晶硅氧改善硅平面管特性的方法
【摘 要】
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本文的是在无定形ＳｉＯ２上沉积含氢的非晶硅氧修复特性较差的硅平面管的方法，该方法可使特性较差的管子起死回生。
【机 构】
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淮北煤师院物理系,淮北煤师院物理系
【出 处】
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淮北煤师院学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年3期
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