【摘 要】
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简述了形位误差光电检测系统的结构和工作原理 ,为保证扫描速度均匀 ,利用激光特性而设计特殊的光学系统。为满足检测系统需要而设计了精密机械系统 ,伺服控制系统 ,电子学和
【机 构】
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简述了形位误差光电检测系统的结构和工作原理 ,为保证扫描速度均匀 ,利用激光特性而设计特殊的光学系统。为满足检测系统需要而设计了精密机械系统 ,伺服控制系统 ,电子学和计算机数字计算与数据处理系统 ,实现了高速、高效、高精度、非接触的自动检测。
The structure and working principle of the photoelectric error detection system for shape and position error are briefly described. In order to ensure uniform scanning speed, a special optical system is designed by using laser characteristics. In order to meet the needs of the detection system, the precision mechanical system, servo control system, electronics and computer digital computing and data processing system are designed to realize high speed, high efficiency, high precision and non-contact automatic detection.
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