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劳厄形貌术在碲镉汞器件研制中的应用
劳厄形貌术在碲镉汞器件研制中的应用
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:quanminyingyang
【摘 要】
:
讨论了反射劳厄形貌术的优缺点,结合碲镉汞器件研制工作给出了实际应用的几个例子。如磅镉汞晶片结构检查,观察碲镉汞晶片表面的磨抛损伤、跟踪观察碲镉汞晶片在光刻、化学腐蚀
【作 者】
:
蔡毅
【机 构】
:
昆明物理研究所
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
反射劳厄形貌术
碲镉汞
晶体缺陷
红外光学器件
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讨论了反射劳厄形貌术的优缺点,结合碲镉汞器件研制工作给出了实际应用的几个例子。如磅镉汞晶片结构检查,观察碲镉汞晶片表面的磨抛损伤、跟踪观察碲镉汞晶片在光刻、化学腐蚀成形、离子刻蚀成形前后的晶格变化等。
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