劳厄形貌术在碲镉汞器件研制中的应用(二)

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讨论了反射劳厄形貌术的优缺点,结合碲镉汞器件研制工作给了实际应用的几个例子。如磅镉汞晶片结构检查,观察磅镉汞晶片的磨势损伤,跟踪观察磅镉汞晶片在不光刻、化学腐蚀成形、离子刻蚀成表前后的晶格变化等。
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