复合布拉格反射镜高亮度AlGaInP发光二极管

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong574

【摘要】

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采用光学薄膜理论中干涉矩阵模型计算了峰值波长为630nm的AlGaInP红光LED的Al0.6Ga0.4As／AlAs材料的常规DBR和复合DBR的反射谱特性，用LP—MOCVD方法生长了模拟设计的DBR结构，测

【作者】

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于晓东韩军李建军邓军林委之达小丽陈依新沈光地

【机构】

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北京工业大学光电子技术实验室

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

：

2007年1期

【关键词】

：

红光LED 复合分布式布拉格反射镜金属有机物化学气相淀积光提取效率

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采用光学薄膜理论中干涉矩阵模型计算了峰值波长为630nm的AlGaInP红光LED的Al0.6Ga0.4As／AlAs材料的常规DBR和复合DBR的反射谱特性，用LP—MOCVD方法生长了模拟设计的DBR结构，测量了其白光反射谱，实验与模拟结果基本符合．制备了采用Al0.6Ga0.4As／AlAs复合DBR的LED器件，未封装输出光功率为2．3mw，外量子效率为5．6％，发光效率可达12 lm／W，比常规DBR器件提高了35％．验证了复合DBR与常规DBR相比，可以大幅度提高AAlGaInP红光LED的出

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