【摘 要】
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针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程
【基金项目】
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装备预研基金(9140C790405140C79330,6140863020202);航空科学基金(2016ZD57006);上海市科委专业技术服务平台(16DZ2290103)
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针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程的流速测量。设计了带温度补偿的双惠斯登电桥测控电路,利用STM32微处理器ADC模块对多路流速测量结果进行采样。测试实验实现了0~32m/s的输入风速测量,其中在1m/s以下的低风速段内传感器具有100mV/(m·s-1)的较高灵敏度,在风速(1~7m/s)和(7~32m/s)下的灵敏度分别为83.1mV/(m·s-
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