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MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法，并对系统级仿真这一难点做了深入阐述。
EMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究
【摘 要】
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MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2006年05Z期
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