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薄膜表面粗糙度对内应力的测量产生复杂的影响 。文章通过理论分析和计算，得到如下结论：表面粗糙度使得内应力的测量值小于其真实值 ；当表面粗糙颗粒可以用球体描述时，粗糙度对内应力测量值的影响仅取决于球状颗粒与表 平面之间的接触角，而与颗粒的半径大小无关，若颗粒恰为半球体，内应力测量值与实际值 之比为0.785 4；当粗糙表面轮廓线可以用正弦曲线表示时，上述影响则取决于正弦波的波 幅和波距之比。