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通过等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备粒径大小可以控制的硅纳米晶体,并对制备的纳米晶硅进行了在线表面改性.实验结果表明：成功获得了表面经烃基改性的不同粒径的纳米晶硅.相较于没有改性的纳米晶硅,它具有良好的抗氧化性和抗团簇能力,在有机溶剂中有着很好的分散性.
PECVD法硅纳米晶体的制备及在线表面改性
【摘 要】
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通过等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备粒径大小可以控制的硅纳米晶体,并对制备的纳米晶硅进行了在线表面改性.实验结果表明：成功获得了表面经烃基改性的不同粒径的纳米晶
【机 构】
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四川大学材料科学与工程学院
【出 处】
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西南民族大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年6期
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