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ＬｉＧａＯ２晶体是一种ＧａＮ外延用的新型衬底材料。由于目前ＧａＮ基蓝绿发光二极管和激光二极管的研究受到广泛重视，为ＧａＮ提供新型的衬底材料成为一项迫切需要解决的问题。现在普遍采用蓝宝石作为ＧａＮ的衬底材料，然而蓝宝石与ＧａＮ的晶格失配高达１３．８％，这导致ＧａＮ外延膜中产生大量缺陷，从而影响了其发光性能。ＬｉＧａＯ２具有良好的物理化学性能，与ＧａＮ的晶格失配只有０．２％，是目前已知作为ＧａＮ衬底材料中晶格失配最小者，因而是一种有希望的ＧａＮ衬底材料。研究样品是由提拉法生长的，生长方向为［００１］。晶体中存