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设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。
紫外光刻光源设计与分析
【摘 要】
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设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2013年6期
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