【摘 要】
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<正> 现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力,即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械
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<正> 现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力,即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械压力传感器.传感器,尤其是压力传感器主要用作临界状态监测,确定传感器的可行性.因此,传感器通常有一种重要的平衡因素,即传感器本身生产成本应低于其所构成系统成本几个数量级.例如,对于一辆价值2.5万元的汽车,为保证其燃料有效利用、降低空气污染所使用的传感器价格应在10美元左右.最早的硅压力传感器价格昂贵,只能用于一些特殊的
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