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介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0～ +80℃ ;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求
工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
【摘 要】
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介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0～ +80℃ ;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043,沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043,沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市110043
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2000年02期
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