SrTiO3斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7—δ薄膜的扫描探针显微镜研究

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【摘要】

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采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa2Cu3O7

【作者】

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时东霞巴德纯庞世瑾胡文斐李林高鸿钧

【机构】

：

东北大学机械工程与自动化学院,东北大学机械工程与自动化学院,中科院物理所和凝聚态物理中心北京真空物理开放实验室,中科院物理所超导国家重点实验室

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

SrTiO3斜切基片外延生长扫描探针显微镜 YBA2CU3O7-Δ 薄膜表面形貌钛酸锶 Epitaxial growthLaser pulsesStro

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采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa2Cu3O7-δ薄膜具有相对光滑的表面形貌,薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成,薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主.

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