激光跟踪伺服系统设计与误差分析

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三维伺服机构在柔性坐标测量系统中占有极重要的地位 ,在分析了其它激光跟踪机构的基础上 ,提出一种新型的独立式三维跟踪机构。详细论述了它的工作原理 ,同时也对伺服机构的加工误差、安装误差、伺服电路控制误差等进行了分析。实验证明了伺服转镜机构工作性能可靠 ,测量误差小 ,结构简单 ,容易控制。
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