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本文主要阐述XPS测试原理及靶材的选择,讨论其在材料表面研究中的定性和定量分析.通过光电子谱峰位置、形状和强度,可以分析元素价态、含量.成像XPS可以显示样品表面的元素和价态分布,进行微区分析.利用不同离子枪刻蚀进行深度剖析,可以研究样品化学状态随深度的变化关系.
X射线光电子能谱分析技术
【摘 要】
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本文主要阐述XPS测试原理及靶材的选择,讨论其在材料表面研究中的定性和定量分析.通过光电子谱峰位置、形状和强度,可以分析元素价态、含量.成像XPS可以显示样品表面的元素和
【机 构】
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华南理工大学分析测试中心,广东 广州,510640
【出 处】
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中国战略新兴产业
【发表日期】
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2018年34期
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