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金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，在沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对其优缺点眯进行了比较。
提高金刚石膜电阻率的几种方法
【摘 要】
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金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，在沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1997年3期
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