【摘 要】
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进一步研究了采用固着磨料数控加工碳化硅反射镜的工艺,基于平转动加工方式的去除函数理论推导出了多丸片抛光盘的去除函数模型。根据趋近因子、曲线距离等结果对抛光盘运动
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,中国科学院研究生院
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进一步研究了采用固着磨料数控加工碳化硅反射镜的工艺,基于平转动加工方式的去除函数理论推导出了多丸片抛光盘的去除函数模型。根据趋近因子、曲线距离等结果对抛光盘运动偏心距及丸片间距等参数进行优化,由优化后的参数指导实验。理论模型与实验结果对比显示,理论最大去除率与实验数据的偏差为0.007 3μm/min,偏差比例为5.58%;理论去除函数曲线与实验曲线的距离偏差Drms为0.084 9μm,偏差比例为7.01%。在分析部分,引入填充因子来间接评价去除函数形状。实验结果很好地验证了理论模型的准确性。该模型对固
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