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微小电容测量电路广泛应用于各种工业过程中，尤其是在用于电容层析成像系统中。大多数的微小电容测量电路采用了基于交流电流测量或直流充放电方法。这些方法的共同优点是具有较高的灵敏度和抗杂散电容能力。而且其交流激励电压或直流充放电电压一般在20V以下。为进一步提高微小电容测量的灵敏度和分辨力，本文提出了一种高压交流激励方式电路，该电路将交流激励电压提高到几百至上千伏。实验表明该方法大大提高了微小电容测量的灵敏度和分辨力，同时具有良好的稳定性和线性度。