新型电极材料Sb掺杂BaSnO3薄膜的外延生长及其在铁电薄膜电容器中的应用

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jk305

【摘要】

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本文利用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶衬底上生长了Sb掺杂BaSnO3(BSSO)外延薄膜.结构和输运性质测量结果显示BSSO薄膜是一种具有立方钙钛矿结构导电性很好的薄膜材料,80K时

【作者】

：

刘亲壮焦兴利王海峰吴文彬

【机构】

：

合肥微尺度物质科学国家实验室(筹),中国科学技术大学,合肥,230026

【出处】

：

低温物理学报

【发表日期】

：

2010年3期

【关键词】

：

电极锡酸盐铁电电容器

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本文利用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶衬底上生长了Sb掺杂BaSnO3(BSSO)外延薄膜.结构和输运性质测量结果显示BSSO薄膜是一种具有立方钙钛矿结构导电性很好的薄膜材料,80K时呈现金属一绝缘体转变,室温下薄膜的电阻率、载流子浓度和迁移率分别为ρ=2.43 mΩcm,n=1.65×1021 cm-3和μ=1.75 cm2/Vs.以BSSO薄膜为底电极制备了具有比较好电滞回线的Pb(Zr0.52Ti0.48)03和Bi(Mn0.05Fe0.95)O3铁电电容器,表明BS-SO薄膜是一种具有应用前景的新型电极材料.

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